Статьи
Особенности определения состава многокомпонентных тонких пленок PZT методом растровой электронной микроскопии
В. П. Пронин, Д. М. Долгинцев, С. В. Шенкевич, Е. Ю. Каптелов, И. П. Пронин
Цена: 50 руб.
Обсуждаются возможности электронно-зондового рентгеновского микроанализа (ЭЗРМА) с использованием сканирующего электронного микроскопа EVO-40 для определения состава многокомпонентных тонких слоев на основе твердых растворов цирконата-титаната свинца (ЦТС). Показано, что анализ состава тонких
слоев ЦТС, нанесенных на платинированную кремниевую подложку, затруднен близостью характерных рентгеновских линий платины и циркония. Это приводит к искажению в определении содержания не только циркония, но и свинца и титана. Чтобы надежно определить состав таких пленок, необходимо использовать контрольный образец ЦТС, нанесенный на подложку без платины.
Ключевые слова: электронно-зондовый рентгеновский микроанализ, тонкие
пленки ЦТС, тонкие пленки.
REFERENCES
1. Whatmore, R.W. Ferroelectrics, microsystems and nanotechnology. Ferroelectrics. 1999, Vol. 225, no. 1, pp. 179–192. doi:10.1080/00150199908009126
2. Muralt, P. Recent progress in materials issues for piezoelectric MEMS. Journal of
the American Ceramic Society. 2008, Vol. 91, no. 5, pp. 1385–139. doi:10.1111/j.1551-
2916.2008.02421.x
3. Isupov, V.A. The coexistence of phases in solid solutions of lead zirconate titanate.
Physics of the Solid State. 2001, Vol. 43, no. 12, pp. 2166–2169. (rus)
4. Wada, S., Yako, K., Yokoh, K., Kamemoto, H., & Tsurumi, T. Domain wall
engineering in barium titanate single crystals for enhanced piezoelectric properties.
Ferroelectrics. 2006, Vol. 334, no. 1, pp. 17–27. doi:10.1080/00150190600689647
5. Noheda, B., & Cox, D.E. Bridging phases at the morphotropic boundaries of
lead oxide solid solutions. Phase Transitions: A Multinational Journal. 2006, Vol. 79,
no.1–2, pp. 5–20. doi:10.1080/01411590500467262
6. Calamea, F., & Muralt, P. Growth and properties of gradient free sol-gel lead
zirconate titanate thin films. Applied Physics Letters. 2007, Vol. 90, no. 6, 062907.
doi:10.1063/1.2472529
7. Tumarkin, A.V., Serenkov, I.T., & Sakharov, V.I. Investigation of the initial
stages of the growth of barium strontium titanate ferroelectric films by medium-
energy ion scattering. Physics of the Solid State. 2010, Vol. 52, no. 12, pp. 2561–2564.
doi:10.1134/S106378341012019X
8. Pronin, V.P., Khinich, I.I., & Chistotin, I.A. Elastic electron scattering spectroscopy for elemental analysis of dielectric and high resistance semiconductor. The Russian
Journal of Applied Physics. 2008. Vol. 34, no. 19, pp. 21–26. (rus)
9. Popova, T.B., Bakaleinikov, L.A., Zamoryanskaya, M.V., & Flegontova, E. Yu. X-ray spectrum microanalysis of semiconductor epitaxial heterostructures
on the basis of a Monte Carlo simulation of electron transport. Semiconductors. 2008,
Vol. 42, no. 6, pp. 669–674. doi:10.1134/S1063782608060079
10. Briggs, D., & Sih, M.P. Analiz poverhnosti metodami oje- i rentgenovskoy
photoelectronnoy spectroskopii. [Surface analysis by Auger and X-ray photoelectron
spectroscopy]. Moscow: Mir, 1987, 600 p. (rus)
• "Университетский научный журнал"
• Журнал "Научное мнение"
• Журнал "Научное мнение. Экономические, юридические и социологические науки"
• В помощь автору
• Этические принципы научных публикаций
• Отзывы
